清洗|捷纳特|柔性板清洗

等离子体技术行业应用

等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，柔性板清洗，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，喷码清洗，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，清洗，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，低温清洗，故称之为辉光放电处理。

热等离子体应用

如果需要向工件（需熔化的金属）输入更多的能量，可以用图1b的方式，用工件本身作正极。图1c结构可用于陶瓷的熔解。由辅助直流炬喷出气流，再由同轴三相交流电对等离子体继续加热。热等离子体射流进入旋转离心炉，与壁材料相互作用，使其熔化。图1d是高频 (0.5～15兆赫)无电极的等离子体装置。电能通过线圈耦合到等离子体。它的优点是可以加热各种气体（包括活性的或腐蚀性的气体），进入化学反应的杂质少，热电转换效率高。但是比较贵。